Rövid bevezetés
Kemiszorpcióját friss titán film egy vákuumszivattyú kipufogó. Ez a szivattyú egy egyszerű szerkezet, szivattyúzási sebességet, olajszennyezés, a sugárzás és a rezgés a zaj jellemzőit, kezdve nyomás 1 10-2 Pa, az üzemi nyomás tartomány 10-2 10-8 Pa, a vény nélkül ultra-nagy vákuumszivattyú olaj fontos. Titán szublimációs szivattyú elektronikus eszközök, nagyenergiájú gyorsítók, kontrollált termonukleáris reaktorok és a tér szimulátorok, mint például a vizsgálati és felületi fizika már széles körben használják.Szerkezet
Titán szublimációs szivattyú (Ti szublimáció szivattyú) főleg áll a szivattyú és szublimációs (1. ábra). Szivattyú rozsdamentes acélból készült. Szivattyú vízzel vagy folyékony nitrogén hűtés. Mint a magasságát a szivattyú és a szivattyú-port átmérője általában 1-2, amelyik nagyobb vízhűtés, folyékony nitrogén hűtéssel, hogy egy kis érték. Azáltal, a titán használata az alakja és típusa fűtés, szublimáció van a különböző szerkezeti formák. Ábra 2a, b, illetve titán vezetékek és titán-molibdén ötvözet vezetékes szublimáció közvetlen elektromos fűtőberendezés. Mindkét sublimator egyszerű szerkezet és az alacsony költségű, de az arány vagy szublimáció párolgási sebesség a titán (utal, hogy az összeget egységnyi területen egységnyi idő szublimáció) alacsony felhasználási nagyon alacsony (mintegy 40%). Ábra 2c labdát titán szublimációs hősugárzás eszköz. Ez áll gömbhéj és a belső titán volfrám fűtés. Ez a szublimáció a szublimáció ráta, a magas kihasználtsági arány (70%). A felszerelt több nagy golyó titán szivattyú, az átlagos szublimációs sebessége 2,5 g /, szivattyúzás sebesség akár több tíz köbméter másodpercenként. Ezen túlmenően, a fűtés elektron bombázás titán lemez és titán rudak szublimáció szublimáció stb.
Művek
Titán szublimációs szivattyú szívó mechanizmus (Ti szublimáció szivattyú) van kemiszorpciós. Szublimációs rakódik titán szublimációs szivattyú a hideg fal, amely egy titán fólia a friss, nitrogén, oxigén, szén-monoxid és egyéb aktív gázok és egy viszonylag erős adszorpciós (lásd a táblázatot), és alkotó titán-nitrid, titán-karbid és titán-oxid stabil vegyületek, mint például a titán, de szinte nincs inert gáz és metán adszorpció. Csak egy titán film egy monomolekuláris réteg adszorbeált gáz a helyét az adszorbeált gáz molekulák nem adszorbeált gázok. Ezért a titán szublimációs szublimáció folyamatosan meg kell tenni folyamatosan lerakódnak a titán fólia új szivattyú falon, annak érdekében, hogy a folyamatos szivattyúzás. Titanium szublimáció szivattyú
Annak érdekében, hogy felszámolják a hiányosságokat a titán szublimációs szivattyú inert gáz adszorpciós szegény, általában köpköd ion szivattyút (lásd getter-ion szivattyúk) vagy kombinációban vegyülettel titán szivattyú, így játszani a saját erejükre. Titán szublimációs szivattyú szivattyúzási sebesség nagy, az ion szivattyú szivattyú inert gáz és metán kapott egy alsó határ nyomás. Mivel az első energia-pumpáló inert gáz az argon és a reaktív gáz molekuláris szitán, mint a pre-vákuum-szivattyú, a személyzet egy ezekből álló háromféle szivattyúk, olajjal szennyezett kipufogó, nincs vibráció zaj, ultra-nagy vákuum fontos módszer a nem-olajat kapunk.
Teljesítmény tényező
Titán szublimációs szivattyú (Ti szublimáció szivattyú) szivattyúzási sebességet, és a gáz szivattyúzás típusú és nyomás, titán szublimációs sebesség, titán és titán membrán membrán terület hőmérséklet és egyéb tényezők. A nagynyomású szivattyú szivattyúzási sebesség függ a szublimációs arány. Annak érdekében, hogy a magas szivattyúzási sebesség, annál nagyobb a nyomás nagyobb kell legyen szublimációs sebesség, de a túl alacsony nyomású szublimációs sebesség szükségtelen. Szublimációs arány idején 10-7 10-3 Pa Pa nyomást, ha csak 1%-os is lehet. Szakaszos gyakran használt ultra-nagy vákuum szublimáció, mint például néhány óránként, amikor csak a 10-8 Pa szublimál egy perc. Alaposan sütőipari gáz szivattyúk, hűtővíz vagy folyékony nitrogén csekély hatása van a végső nyomást, de nagy hatással a szivattyúzási ráta. Pumpálási sebesség általában folyékony nitrogénnel lehűtjük hűtés a nagy víz aránya 1-4 alkalommal. Titán szublimációs szivattyú elindításához szükséges követelmények egy előre 10-2 Pa vákuumban, és a gázt a sült (poszt-nyomású szivattyú egyes expozíciós a gáz sütött). Sütés gáz szükséges feltétele megszerzéséhez ultra-nagy vákuumot. Alaposan sült szivattyú gáz, akkor kap egy alacsony limit nyomás és a szívási nyomás lerövidíti a határidő elérésekor, hanem a szivattyú fal tisztább, titán film lerakódás nem könnyű, hogy ki és ne a gáz. Általában a hőmérséklet 300 ~ 400 ℃ sütjük 12 és 24 óra. Miután a szivattyú nem indul el azonnal a szivattyú hűtés fal, amely lehetővé teszi a lerakódás a titán szublimációs néhány percig, majd lehűtjük úgy, hogy a titán-film nem könnyen leeshet.
|
